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简单讲几句，主要的区别是实现原理以及是否能够商业化。
实现原理上目前国际上使用「深紫外光源」的光刻机是主流，对于7nm以及更高的工艺，ASML最高端的光刻机用的是「极紫外光源」，也就是所谓的EUV光刻机。
这种光刻机有个最大的缺点：就是贵！它的成本极高，一个光源就要3000万元人民币，还必须要在真空下使用，以至于ASML的EUV光刻机创造了“一台卖一亿美金”的神话。
而国产光刻机采用的是传统的365nm汞灯做光源达到了10nm的工艺，并且这种光源的成本一只只有几万元，大大降低了光刻机的整体成本，从一亿美金降到百万元至千万元级别。
国产光刻机在技术上最大的突破在于没有重复走ASML的老路，而是另辟蹊径，采用了表面等离子体（SP）光刻技术，形成了一条全新的纳米光学光刻技术路线，并拥有完全自主知识产权。
但国产光刻机同时也存在短板，比如最大只能加工4英寸的晶圆，而主流晶圆厂都是8寸、甚至是12寸起步了。而且国产光刻机采用的是接触式光刻，一点点缺陷就会造成品质问题，所以只能做简单的线、点、光栅等部件，目前还不能用于生产更为复杂的芯片。
所以目前中国的光刻机只能被用于军事、研究等领域，还没有形成和ASML竞争的商业化能力，但饭要一口一口吃，几年之后说不定还真有可能弯道超车呢。
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