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我国有光刻机，但是仅限于低端领域，目前全球光刻机市场的食物链是荷兰的ASML在顶端，其次是日系厂商（尼康和佳能）占据中低端市场，而我国仅有一家上海微电子能生产低端光刻机，如果搞一个全球排名的话，那么上海微电子就是全球第四，但这是垫底的偏门。 1、上海微电子的90nm光刻机：目前我国能整机制造光刻机的只有上海微电子，2002年起家开始做这方面的研究，从零起步，目前其制造工艺已经能达到90nm（具体型号见下图），2018年时上海微电子产的光刻机已经完成验收。 按照科技领域的研发情况，使用一代，研发一代，再预备一代，上海微电子基本上也是这个流程，搞定90nm工艺后，现阶段已经完成了65nm工艺的研发和验证，已经再准备后续28nm的工艺了。 另有消息称我国已经在加紧研制14nm的制造工艺，前期准备工作（相关技术）已经通过验证和审核。 2、上海微电子只是系统制造商：虽然上海微电子能做光刻机整机设备，但并不意味着这家企业能自己独立生产光刻机中的所有零配件，它只是一个系统制造商。想要制造一台完整的光刻机需要全球采购零配件，尤其是核心精密零部件更是依赖国外厂商，比如的光栅、德国镜头、瑞典轴承等等。 当然，全球采购是目前光刻机厂商通用的做法，也是很无奈的做法，因为没有任何一家企业有实力完成所有零配件的生产，能独立完成光刻机的制造。荷兰ASML也一样全球采购然后生产制造。 3、提高光刻机技术核心是材料学：前面说了制造光刻机需要各种精密配件，上海微电子仅的光刻机就得几万的配件。因此，想要提高我国光刻机的整体工艺水平，光靠上海微电子一家厂商是不行的，需要全国整体的制造业水平上去，能够制造出我国自己的光栅、镜头、轴承、阀件等等。 而想要制造出高质量的配件，最终又将归结于材料学的研究，很多东西目前其实我们能造，但是使用的材料不过关，精度和质量达不到国外厂商的水准。因此，这就需要我国所有相关企业都能努力提高。 Lscssh科技官观点： 不得不说我国经过近20年的努力，在光刻机这一领域取得了一定的成绩，在全球范围内至少占有一席之地。虽然和最先进的荷兰ASML有很大差距，但至少我们已经在车上，相信未来再持续不断的努力，一定是能赶上荷兰和日本企业。 最新消息荷兰ASML将原本卖给中芯的光刻机给停了，这虽然是坏消息但也是好消息，这将促进我国加紧自主研发自己中高端光刻机。 |
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