发布时间:2019-11-13 15:08:49 文章来源:互联网
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  先回答核心问题,我国蚀刻机处于世界领先水平,可以生产5nm技术的蚀刻机!但是,蚀刻机相比较于光刻机而言,技术含量要低很多,两者完全不在一个档次。

  1、中微掌握先进蚀刻机技术

  国内掌握领先蚀刻技术的企业叫中微半导体,2017年4月时中微曾公开宣布掌握5nm工艺蚀刻技术,同年底可以出工程样机,这个宣布时间比掌握相同5nm蚀刻技术的IBM早了2周的时间。可见中微在蚀刻机领域不说全面领先,那至少也是和世界最高水平相持平。

  中微生产的蚀刻机目前已经被全球多家代工厂商使用,其中就有台积电,早前7nm的蚀刻机在台积电有广泛的应用。5nm的蚀刻机有消息称现在也已经量产,并已通过台积电的验证,未来将供货给台积电用于5nm芯片的生产线。

  2、中微蚀刻机市场应用份额较低

  中微的蚀刻机目前主要应用于三个方面,我们熟知的半导体、IC芯片制造使用的是等离子蚀刻机,主要机型有Primo AD-RIE、Primo D-RIE等,其次是应用于半导体封装的硅通孔蚀刻机,以及适用于LED芯片声场的MOCVD设备,前两类设备目前已经应用于全球20多条一流生产线。

  但是就当前中微的全球市场份额而言并不高,根据权威机构的统计,中微的蚀刻机仅占1.4%左右的市场份额。而全球范围内目前总计有5家企业能生产蚀刻机,除了中微半导体外,剩下均为日美企业,分别为与泛林、应用材料、东京电子、日立,其中泛林占有全球55%的份额。

  Lscssh科技官观点

  综合来说,蚀刻机领域我国的技术水平已经和国外竞争者持平,但是就市场占有率而言,中微的差距还很大,毕竟日美这些传统强者在这个领域并未衰退,想要从他们口中抢食并非一朝一夕能成。相信未来的中微不仅能在技术上超越竞争对手,在市场份额上也能持续蚕食竞争对手们。

  最后再提一点,蚀刻机整体的技术含量不如光刻机,我国想要在半导体领域取得最终的突破,光有蚀刻机不行,核心还得靠光刻机上取得重大突破。

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