发布时间:2020-02-17 10:38:09 文章来源:互联网
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  光刻机是当前世界上最为复杂的设备之一,被称为现代光学工业之花,全球范围内仅有ASML、日系(尼康/佳能)、上海微电子等少数厂商能制造,而我国在这个领域始终处于低端位置,想要完成突破追赶上领头羊还需要很长一段时间,那么如题主所说我们需要在哪些方面发力才能取得突破呢?

  1、系统制造商自身实力需要突破

  所谓系统制造商也就是光刻机整机的制造厂商,也就是大家熟知的ASML、尼康、佳能等厂商,对应于我国而言就是上海微电子。

  一台光刻机涉及几万的设备,需要系统制造商将这些配件完美组合起来,然后充分发挥他们的性能从而实现高端工艺制造。目前上海微电子仅能量产90nm工艺的光刻机,65nm工艺已经攻关结束在进入验证阶段,未来如果进展顺利的话可有可能攻克45nm,乃至28nm工艺。

  不要以为系统制造商的活很好干,将所有配件组合成为一台合格的光刻机并不容易,只要任何一个配件出差错就可能无法正常运转,同时还得和各供应商有着良好的互动。

  2、核心组件上需要更快的突破

  上海微电子从2002年成立至今已有18年的时间,但是在光刻机的研发上仍旧和高端光刻机有很大的差距,可以说整体发展较慢。但是这里面的核心问题是在于光刻机的核心配件达不到要求,或者说跟不上发展。

  光刻机使用很多元器件属于被封禁的产品,因此只能使用国产配件,但是国产配件并不能完全符合要求。就拿现在来说,核心的光源我们只能实现45nm的小批量生产,工作台精度也仅仅达到28nm。想要生产类似ASML这样的高端光刻机,这些相关配件我们还得有提升。

  前面提到光刻机是现代光学工业之花,可见整个光刻机就是基于光学系统而来,现在的光刻机有两大子系统:光学系统和对准系统,这两个系统目前已经达到了科技和工程的极致,比如ASML使用的蔡司镜头,人家是几代人纯手工制作,而在国内这几乎不可想象。

  3、对于上下游企业需要一定掌控

  在对供应链的安全上我国企业也需要有一定的掌控,光刻机涉及的配件太多,部分核心配件要取得核心掌控权,这样才能保证自己整个体系的安全。

  就拿ASML来说,它对于一些能提供核心技术的配件厂商都不仅仅是单纯合作关系,重要的不惜直接收购或者投资,比如ASML光刻机中最重要的合作伙伴蔡司,ASML直接收购了其24.5%股权,同时还直接收购了业内领先的准分子激光源供应商Cymer,这些都充分保证了ASML自己供应链的安全,也保证了它在这个领域内的霸主地位。

  如果我国想要取得突破,对于上下游企业的掌控也是不可忽视的,否则很容易由于其他一些意外因素导致自己整个产业发生问题。

  Lscssh科技官观点:

  综合而言,光刻机的研发生产是一项系统工程,并非简单的靠一家企业就能打天下,你需要将诸多核心厂商整合在一起,合力研发出高水平的光刻机。因此,我国的光刻机想要向高端领域突破,就不仅仅是上海微电子一家的事情,核心的配套厂商都需要努力,在紫外光源,光学镜片,工作台等等子领域实现突破才行。

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