发布时间:2020-06-15 23:07:22 文章来源:互联网
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    应该是没有的,光刻机的核心元件只有光源,镜头,其它的都不是多么核心的东西。

    一、光刻机的核心技术
 
    光刻机是芯片制造中最重要的设备,在芯片制造中,光刻设备占了所有设备成本的20%,光刻工序占了所有工序的30-40%左右。
 
    但其实说起来,光刻机的核心元件并没有什么,最重要的只有光源、镜头。
 
    光刻机的原理本质其实与投影仪+照相机差不多,以光为刀,将设计好的电路图投射到硅片之上。所以最核心的东西就是激光源,还有镜头了。
 
    但事实上,真正最关键的东西不是元件,而技术,并且说是组装技术也行。
 
    因为决定光刻机精度的,其实就是各厂商的组装水平,如果你水平不够,给你同样的元件,你也造不出ASML这样的光刻机出来,而这水平是需要多年的积累,经验值等,像光源、镜头,外面是可以买到的,但光刻机你偏偏生产不出来
 
    二、ASML的技术水平
 
    目前ASML的水平是5nm,Nikon是14nm,上海微电子、canon是90nm,差别相当相当大。
 
    而ASML最强大之处,也在于它的技术水平,经验值,而不是因为它拥有别人买不到的元件什么的,所以对于光刻机来说,很难说弯道超车,买到了卡脖子的配件就进步了,这不存在的,唯有积累,一步一步前进。

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