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我国光刻机最近几年整体的发展还是可以的，虽然在高端领域和荷兰ASML差距还是相当大的，但是我们正在迎头赶上，只要这个发展的进程不中段，以及相关科学领域的持续突破，必然缩小差距和追赶上。 上海微电子已经在研发28nm工艺光刻机 上海微电子是目前国内光刻机领域最领先的系统制造商，很多人提起这家公司或许都会说它们只能量产90nm的工艺的光刻机，但这并非上海微电子当前真正的研发进度。 最新消息显示上海微电子已经完成了65nm光刻机研发，且已经进入设备验证阶段，如果不出意外的话这2年应该能量产65nm。既然已经搞定了65nm光刻机，下一代的28nm光刻机研发工作也已经在进行中。 因此，未来几年内如果顺利的话，我们或许能用上国产28nm光刻机。 光刻机研发不仅仅靠上海微电子 上海微电子虽然是研发光刻机的主力，但是一台光刻机涉及到几万的配件，仅仅靠上海微电子显然也是无法制造出合格的高端产品，想要尽快提升我国的光刻机整体水平，还需要整个产业链的努力。类似光栅、镜头、阀件等光刻机的核心配件厂商同样需要提升自身的水平，而这就涉及到制造业的技术水平了。 目前来看，配件厂商的差距和国外企业相差较大，此前上海微电子总经理曾经举个一个例子，德国人这边生产的镜片抛光都是纯人工，而这种工种的工人祖孙三代都做相同的工作，这种模式生产出来的镜片光洁度要比其他方式生产的强十倍。 这就是差距，国内很难实现类似的生产模式。 上海微电子有哪些用途的光刻机 上海微电子目前的光刻机产品包括前道光刻机、后道封装光刻机、平板显示光刻机、LED光刻机等，而大家所称的90nm光刻机指的是前道光刻机，目前后道封装光刻机上海微电子占据国内80%的市场份额，全球市场份额40%左右，LED光刻机市占率为20%。 如果放眼全球光刻机市场，荷兰ASML占据高端领域，全球份额达到了8成，剩下2成的中低端市场主要由上海微电子和日本的佳能、尼康来瓜分。 Lscssh科技官观点： 以上就是我国光刻机的现状，和荷兰ASML高端光刻机差距还是很大，但我们正在不断的追赶中，相信未来我们还是能赶上的。 |
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