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我国最先进的光刻机是上海微电子的90nm制程工艺光刻机，而荷兰ASML最先进的光刻机是7nm制程工艺，而且5nm制程工艺已经成熟，可以说差了很大一截。
上海微和荷兰AMSL光刻机差距，客观反映了我国和西方在精密制造领域的差距，一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方发达国家，的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承等等，而这些关键零部件对我国是禁运的。
上海微电子是一家系统集成商，自己不能生产所有的关键零部件，没有下游厂商的支持，所以很难生产高端的光刻机，只能先做好中低端，生存下去，一步一步培养国内零部件厂商，一点一点往上做。
为什么全球只有ASML能够制造顶级光刻机？
目前，光刻机领域的龙头老大是荷兰的ASML，占据了高达80%的市场份额。更关键的是，最先进的EUV光刻机，全球只有ASML能够生产。
①ASML出身名门
ASML并不是一家白手起家的公司，背后是著名的飞利浦，背后有相关技术人员、经济上的资助。
②掌握核心技术
ASML拥有世界第二的专利申请数，收购了不少关键零部件下游厂商。
除此之外，ASML光刻机的90%零件向外采购，整个设备同时获得了世界最先进的技术，从而在日新月异的芯片制造行业保持了绝对的竞争优势，把世界第二的尼康远远甩在了后面。
③独特的合作模式
ASML有一个奇特的规定，只有投资了ASML，才能获得优先供货权。三星、英特尔、台积电、海力士都在ASML有客观的股份，大半个半导体行业都是AASML一家的合作伙伴，形成了庞大的利益共同体。
我国的光刻机
目前，我国最先进的光刻机生产厂商是上海微电子（SMEE）成立于2002年，最先进的光刻机SSA600/20系列的90nm制程工艺，面向中低端市场，成为国内很多低端芯片制造商的首选。
虽然，上海微电子在高端光刻机领域还未有所突破，不过从无到有，而且在低端光刻机领域占据了垄断地位，上海微电子是值得让人尊敬的。利用低端市场赚取的利润，支持高端市场的研发，也是一条可行的路线。
这里补充一下，我国的中芯国际在2018年曾成功预定一台ASML的7nm制程工艺的光刻机，但是先是因为ASML零部件厂商失火，后是因为许可证到期，这都2020年了，仍然没有到货。印证了那句话“自己有的才是真的，只有你突破了技术，就没有人能卡你的脖子”。
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